截至4月21日收盘，光刻机概念上涨1.66%，位居概念板块涨幅第2，板块内，33股上涨，华特气体20%涨停，泰晶科技涨停，腾景科技、久日新材、芯碁微装等涨幅居前，分别上涨6.92%、4.99%、4.90%。跌幅居前的有同飞股份、电科数字、旭光电子等，分别下跌4.39%、2.30%、2.11%。
今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）PET铜箔2.35华为盘古-2.22光刻机1.66国产操作系统-2.03氟化工概念1.18MLOps概念-2.01光刻胶1.00快手概念-1.93养鸡0.99信创-1.89PCB概念0.92华为欧拉-1.88煤炭概念0.90电子身份证-1.80PVDF概念0.89中国AI 50-1.78华为手机0.89网络安全-1.75POE胶膜0.86云计算-1.68资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入6.05亿元，其中，23股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是腾景科技，今日主力资金净流入2.83亿元，净流入资金居前的还有大族激光、泰晶科技、华特气体等，主力资金分别净流入2.07亿元、1.96亿元、1.50亿元。
资金流入比率方面，富乐德、泰晶科技、华特气体等流入比率居前，主力资金净流入率分别为12.23%、12.22%、9.48%。（数据宝）
光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）688195腾景科技6.928.4828258.017.06002008大族激光4.064.8120665.234.81603738泰晶科技9.9912.3619634.4512.22688268华特气体20.0012.1415027.189.48688146中船特气2.5618.7110071.245.49688630芯碁微装4.906.078441.774.23301297富乐德3.064.778255.9512.23300456赛微电子1.8911.758244.122.12300331苏大维格4.528.456488.807.57600895张江高科1.401.895346.774.86301611珂玛科技0.668.463529.102.85688127蓝特光学1.122.003172.005.48603005晶方科技0.295.452925.442.68603800洪田股份2.703.881320.853.38688199久日新材4.994.201035.815.49603297永新光学3.091.96699.052.80301421波长光电-1.2411.82597.841.11688079美迪凯2.953.75388.431.54002816*ST和科0.504.53324.642.74003043华亚智能0.282.51191.761.63600889南京化纤1.981.65190.172.06002549凯美特气3.4610.8588.350.06300809华辰装备-0.932.4830.610.23301209联合化学1.712.13-26.62-0.13002889东方嘉盛0.370.65-64.46-2.88301568思泰克1.078.33-316.41-1.42300414中光防雷-1.782.70-487.17-4.02688376美埃科技0.111.14-507.60-4.57300786国林科技0.072.37-508.13-9.78600850电科数字-2.301.49-575.07-2.78688605先锋精科-0.552.55-725.37-4.06300293蓝英装备-0.321.79-811.51-7.24003031中瓷电子2.934.32-932.03-0.52600353旭光电子-2.112.83-1034.19-2.72688010福光股份0.033.57-1116.64-5.44300219鸿利智汇0.002.12-1149.29-9.93600619海立股份0.563.60-1169.31-2.31300666江丰电子0.173.83-2210.32-1.67688409富创精密-1.111.10-2487.64-7.37603360百傲化学-0.541.98-2567.63-7.67300990同飞股份-4.397.72-3390.76-6.42688307中润光学3.5711.11-3523.26-3.79301095广立微-0.403.68-4078.74-7.29300260新莱应材-1.304.92-4480.43-6.22688167炬光科技-0.874.46-9903.44-6.61688502茂莱光学3.417.07-12691.60-7.15603773沃格光电0.5523.94-29677.26-9.19